真空感應化學氣相沉積爐
真空感應化學氣相沉積爐是在真空或保護氣氛下，利用中頻感應原理將置于感應線圈內的石墨坩堝加熱，也可電阻加熱，石墨坩堝中放入被制備的碳-碳復合材料。在一定溫度下將坩堝加熱到規定溫度，并通入稀釋的碳氫氣體。該氣體中含碳活性基因分解后便沉積于材料表面。這樣制備的復合材料，其耐磨性將大大增加。本設備適用于化學氣相沉積法制備復合材料，也可做為硬質合金制品的燒結。碳--碳復合材料是一種炭纖維增強炭基體的先進復合材料，具有低密度、高比強、耐高溫(3000℃)、 摩擦磨損性能優異等特點。早期，通過試驗方法研制出的 碳--碳復合材料產品主要用于航空航天領域，如軍用飛機制動盤、火箭發動機噴管、燃燒室、鼻錐等關鍵部件。目前，碳--碳復合材料因其優異的性能，廣泛應用于現代交通、大型制造業、國家大型核能工程、現代國防建設、高溫熱防護、半導體工業、熱壓模具等領域。
碳--碳復合材料制備的關鍵技術是炭纖維預制體的致密化—CVI工藝。碳--碳復合材料化學氣相沉積爐是CVI工藝的專用設備，是在一定的真空或惰性氣氛條件下，利用感應或電阻發熱的原理將爐內工件加熱到一定溫度后，通入碳源性氣體，氣體在高溫下裂解后產生含碳物質，沉積于工件表面，達到組織增密的目的。
鑒于碳--碳復合材料廣泛的應用領域和廣闊的市場前景，我公司開發出了大型碳--碳復合材料化學氣相沉積爐，主要用于大型碳--碳制品的化學氣相沉積，也可進行全程真空炭化處理。
主要技術參數
參數/型號 | 單位 | ZGQC-100 | ZGQC-160 | ZGQC-160 |
坩堝有效容積 （直徑×高） | mm | Φ340×700 | Φ600×900 | Φ650×1600 |
中頻電源功率 | Kw | 100 | 160 | 160 |
中頻電源頻率 | Hz | 2500 | 2500 | 1000 |
最 高工作溫度 | ℃ | 1200 | 1200 | 1200 |
恒溫區溫差 | ℃ | ±10 | ±10 | ±10 |
極限真空度 | Pa | 4 | 4 | 4 |
壓升率 | Pa/h | 5 | 5 | 5 |
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